内容紹介
刊行にあたって20世紀最大の発明は半導体デバイスと集積回路であろう。集積-integration-は単に組み合わせただけではなく、機能を産み出すことで工業的、産業的にインパクトを与えてきた。本書「異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用」は、この分野の第一人者の方々の寄稿により上梓することになった。
本書では異種機能集積化の重要性を強調しているが、微細化技術が必要ないとはいっていない。微細化高性能化技術開発なしに異種機能集積技術の未来は産業的には存在しないことを頭にたたき込んで欲しい。そうはいっても微細化技術の追求が研究、開発、製造、ビジネスのそれぞれのレベルで大きな困難を抱えていることは事実である。それを何とか克服するべく、単なる微細化だけでなく、単純なCMOS回路の組み合わせだけではなく、センサ、MEMS、エネルギーハーベスタ、通信機能などを集積回路と融合させることの期待が生まれてくる。
本書は、種々な機能発現のためのデバイス、プロセス技術が述べられており、CMOS技術と融合することを想定すれば、研究としてもビジネスとしても想像できないような大きな可能性を拓くことにつながるであろう。
「はじめに」より抜粋
著者一覧
益一哉 東京工業大学 ソリューション研究機構 教授
江刺正喜 東北大学 原子分子材料科学高等研究機構(WPI-AIMR) 教授
藤田博之 東京大学 生産技術研究所 教授
石田誠 豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学専攻 副学長,教授
年吉洋 東京大学 先端科学技術研究センター 教授
田中秀治 東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 准教授
高橋一浩 豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系 助教
越田信義 東京農工大学 大学院工学府 特任教授
小山英樹 兵庫教育大学 大学院学校教育研究科 教授
町田克之 東京工業大学 大学院総合理工学研究科 物理電子システム創造専攻 連携教授;
NTTアドバンステクノロジ(株) 主幹担当部長,高機能デバイスチームリーダ
佐々木実 豊田工業大学 工学部 教授
秦誠一 名古屋大学 大学院工学研究科 マイクロ・ナノシステム工学専攻 教授
橋口原 静岡大学 電子工学研究所 教授
高尾英邦 香川大学 微細構造デバイス統合研究センター 副センター長,准教授
永瀬雅夫 徳島大学 大学院ソシオテクノサイエンス研究部 教授
山口浩司 日本電信電話(株) NTT物性科学基礎研究所 量子・ナノデバイス研究統括 上席特別研究員
北澤正志 オリンパス(株) 研究開発センター マイクロデバイス開発部 チームリーダー
前中一介 兵庫県立大学 大学院工学研究科 電気系工学専攻 回路・システム工学部門 教授
澤田和明 豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系 教授
柴崎一郎 豊橋技術科学大学 大学院テーラーメイド・バトンゾーン教育推進本部 特命教授;(公財)
野口研究所 顧問
野村聡 (株)堀場製作所 開発企画センター 学術情報担当部長
竹内幸裕 (株)デンソー 基礎研究所 エレクトロニクス研究部 半導体プロセス研究1室 室長
柴田英毅 (株)東芝 半導体研究開発センター 技監
楢橋祥一 (株)エヌ・ティ・ティ・ドコモ 先進技術研究所 アンテナ・デバイス研究グループリーダ
鈴木雄二 東京大学 大学院工学系研究科 機械工学専攻 教授
西岡泰城 日本大学 理工学部 精密機械工学科 教授
森村浩季 日本電信電話(株) マイクロシステムインテグレーション研究所 グループリーダー
日暮栄治 東京大学 先端科学技術研究センター 准教授
千野満 (株)ミスズ工業 組立技術グループ 主席研究員
内山直己 浜松ホトニクス(株) 電子管事業部 第6製造部 部長代理,市場開発G グループ長
足立秀喜 大日本スクリーン製造(株) 技術開発センター 技術開発グループ 開発管理部 部長
井上晴伸 (株)ラポールシステム SA事業部 ゼネラルマネージャー
橋本秀樹 (株)東レリサーチセンター 構造化学研究部 部長